Semiconducteur
Robot de Manipulation de Wafers
Vous cherchez à fiabiliser le transfert de vos wafers, de la R&D à la production de masse ? ECM Robotics conçoit et intègre pour vous des robots de manipulation de wafers : transfert de substrats, gestion de cassettes, alignement, traçabilité des lots et de chaque wafer individuel. Ces systèmes s’appuient sur notre expertise en solutions robotiques, qui combine connaissance fine des procédés semi-conducteurs et intégration robotique industrielle.
Plus de 20 Ans d'Expertise au Service de Vos Lignes de Production
Depuis plus de 20 ans, nous automatisons vos lignes de production en salle blanche pour le semi-conducteur et le photovoltaïque. Nos systèmes clé-en-main robotisés et nos solutions de préhension sont conçus pour transporter vos substrats sensibles, à haute cadence, sans compromis sur la qualité ni sur la sécurité de vos process. Cette expertise de terrain nous permet de nous adapter immédiatement à vos contraintes : classes de salle blanche, fragilité des substrats, objectifs de cadence, standards de conformité usine, sans courbe d’apprentissage pour vos équipes. Nous savons que vos besoins varient selon votre secteur. Si vous produisez des wafers semi-conducteurs, votre priorité est la précision : tolérances serrées, substrats à forte valeur, zéro défaut.
Si vous produisez pour le photovoltaïque, votre priorité est la vitesse, sans compromis sur le taux de casse ni sur la disponibilité de votre ligne : suivre le rythme d’une production à fort volume et à marge plus faible. Dans les deux cas, nous concevons des systèmes de transfert calibrés sur votre profil exact, à partir d’une même plateforme d’intégration éprouvée, pour un déploiement plus rapide et plus fiable. La manipulation de wafers ne représente qu’une partie de notre expertise en intégration robotique. Nous appliquons la même approche d’ingénierie de précision à d’autres process industriels à forte valeur : traitement thermique robotisé, assemblage de packs batteries et soudure robotisée.
La Précision qu'Exigent Vos
Substrats Fragiles et à Haute Valeur.
Quels que soient vos wafers, votre intégration répond à trois exigences :
- Précision et répétabilité : sur tous types et toutes tailles de substrats, pour limiter vos risques d’endommagement des bords et de casse
- Vitesse de transfert : sans perte de précision de positionnement
- Conception adaptative : de votre poste R&D à faible cadence à votre ligne de production à forte cadence, avec le même socle d’intégration
De la R&D à la Production :
une Seule Expertise d'Intégration.
Que vous exploitiez une ligne R&D ou une ligne de production, vos besoins d’automatisation diffèrent.
Pour Vos Applications R&D : Préhension Pièce par Pièce et Multi-formats
Pour votre R&D, nous intégrons des systèmes de préhension pièce par pièce compatibles avec plusieurs formats de substrats au sein d’une même installation. Vos équipes peuvent ainsi tester différents formats sans reconcevoir leur équipement à chaque nouveau projet.
Pour Votre Production : Chargement de Cassette à Grande Échelle
Pour votre production, nos solutions de gestion de cassettes sont conçues pour les lignes à fort volume, en maintenant précision de traitement et cadence de production.
Nos Compétences Clés au Service de
Votre Automatisation Semi-conducteur.
Nos intégrations de traitement de wafer s’appuient sur les briques fonctionnelles suivantes :
Préhension et Transport du Wafer
Préhension précise et rapide de vos wafers, quels que soient leurs tailles et leurs niveaux de fragilité — pour minimiser les contraintes de contact et réduire vos risques de casse.
Cartographie de Cassette
Vérification automatisée de la présence, de la position et de l’occupation des slots dans vos cassettes avant toute prise en charge, pour réduire vos risques d’erreur de traitement en amont.
Aligneur de Wafer
Des postes d’alignement intégrés corrigent l’orientation de vos wafers (encoche ou méplat) avant que le substrat ne poursuive son parcours, pour garantir un positionnement constant à chaque étape.
Lecture de Marquage Wafer (Datamatrix / OCR)
Lecture automatisée des marquages d’identification de vos wafers, pour assurer traçabilité et contrôle qualité en reliant chaque substrat à son historique de process dès sa première prise en charge.
Gestion de Buffer
Gestion du stockage intermédiaire de vos wafers entre les étapes de process, pour maintenir votre flux de production lorsque vos équipements en aval fonctionnent à des cadences différentes.
Réorganisation de Charge
Réorganisation automatisée de l’ordre de traitement de vos wafers pour adapter la séquence de production à vos priorités changeantes, sans intervention manuelle.
Suivi Wafer à Wafer (Tracking)
Suivi individuel de chaque wafer tout au long de son parcours de production, pour la traçabilité, l’analyse de rendement et la recherche de cause en cas d’incident.
Communication Host Usine (SECS/GEM)
Communications constantes avec vos systèmes host de l’usine via le protocole SECS/GEM, pour permettre à vos équipements d’échanger statuts, données et alertes avec votre infrastructure MES.
Intégration en Salle Blanche
et en Environnement Collaboratif.
Nous intégrons vos solutions de manipulation des wafers en environnement cloisoné comme en environnement collaboratif, où le robot travaille directement aux côtés de vos opérateurs. L’intégration en salle blanche répond à vos exigences de maîtrise de la contamination ; l’intégration collaborative répond à vos exigences de sécurité et d’ergonomie sur un poste de travail partagé.
Quels gains pouvez-vous attendre de la
robotique de manipulation de Wafers ?.
L’intégration robotique du traitement des wafers améliore plusieurs résultats mesurables pour votre production :
- Moins de pertes avec des solutions de préhension de haute précision, adaptées à vos substrats
- Risque de contamination réduit grâce à des systèmes conformes aux exigences salle blanche
- Sécurité et ergonomie améliorées sur vos postes collaboratifs
- Traçabilité complète grâce à la lecture de codes et au contrôle qualité intégrée
- Montée en échelle possible, d’une cellule R&D unique à une ligne de production complète
Échangez avec Nos Spécialistes
ECM Robotics accompagne vos projets de production automatisée de wafers, de la R&D à la production, y compris la modernisation de vos cellules salle blanche existantes et l’intégration de solutions collaboratives.